大理石氣浮隔振平臺及三維調(diào)整臺
所屬分類：
工廠自動化
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品功能：發(fā)動機總成生產(chǎn)過程中的各類零件的輪廓度、圓度和粗糙度等測量的執(zhí)行系統(tǒng)，他能有效的保證測量的精度和運行的穩(wěn)定性。
產(chǎn)品特點：四個獨立的重載隔振墊腳和四組氣浮組件聯(lián)合組成振幅小于0.001mm的隔振測量平臺，再結(jié)合重載型氣浮三維調(diào)整臺可以靈活輕便的將被測零件送達測量區(qū)域，并且還能進行精度達0.01mm三維方向的微調(diào)。
設(shè)計要點：平面度< 0.01mm/m2表面粗糙度< 0.8μm
固有頻率x方向1.0Hz～1.5Hz y方向1.0Hz～1.5Hz
減振效率x方向＜5Hz時88%～94% y方向＜5Hz時86%～92% x方向＜10Hz時92%～98% y方向 ＜10Hz時90%～95% 振幅< 1μm荷載能力800kg/m2。
關(guān)鍵詞：
穩(wěn)定
高精度
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